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美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀 Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應力測量。D-600 包含一個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學器件。

美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀 Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強影像控制的高級光學系統(tǒng)。

日本KOSAKA小坂多關節(jié)三維測量機VSC系列 VMC系列的單元可以沿上下方向移動，適用于大型工件的測量

日本KOSAKA小坂多關節(jié)三維測量機VMC系列 多關節(jié)型三維測量機（Vectoron）可以在復雜的三維自由曲面上平滑移動，任何人都可以輕松準確地進行測量。

日本KOSAKA小坂多關節(jié)三維測量機BeakMaster 任何人都可以輕松進行三維測量，適合小型工作。 探針的最大移動范圍 （VBK100S的情況）直徑1200毫米 精度（公司規(guī)格）測定精度：2σ ±0.015mm

日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030 FP3030的核心優(yōu)勢在于其突破傳統(tǒng)測量的技術瓶頸。面對極小寬深比的深孔，傳統(tǒng)接觸式測量因測針直徑過粗或針尖角度過大，難以深入測量側(cè)壁粗糙度；非接觸式光學測量則受限于光的干涉、對焦困難及數(shù)據(jù)點不足。